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背面研磨膠帶系列 ELEP HOLDER
低粘合力剝離且能有效減少紫外線。 出色的性能支持晶圓生產時的背面研磨處理。
用于硬質基板的熱分離膠帶 NWS-TS322F
耐熱性背面研磨膠帶
耐熱性背面研磨膠帶主要用于晶圓研磨后的特殊熱加工工藝。
晶圓級非導電性薄膜(BG/T 型、DC/T )
用于背面研磨處理的保護膠帶粘貼器 NEL SYSTEM? Series
用于背面研磨處理的保護膠帶剝離機 NEL SYSTEM? Series
該設備在背面研磨處理后,可將保護膠帶從有圖案的晶圓表面剝離。 我們具有一系列全自動型和半自動型粘貼器,可用于尺寸較大的晶圓。
保護膠帶粘貼器(真空 + 沖壓功能) NEL SYSTEM? series
這是一款全自動膠帶粘貼器,在真空條件下將保護膠帶(用于背面研磨處理)粘貼在 300 mm 的晶圓圖案表面上。 此外,還具有機械沖壓功能。
保護膠帶剝離機 NEL SYSTEM? series
此款設備是一個全自動膠帶剝離機,可將保護膠帶(用于背面研磨處理)從帶有圖案的 TAIKO 晶圓表面剝離。
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